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ICP-MS電感耦合等離子體質譜儀可廣泛用于有機化學、生物學、地球化學、核工業、材料科學、環境科學、醫學衛生、食品化學、石油化工等領域以及空間技術和公安工作等特種分析方面。
ICP-MS電感耦合等離子體質譜儀在分析研究和常規應用中，三重四極桿技術為簡單分析提供了較好的準確度。用于量化與半導體行業相關的各種具有挑戰性的基質中的痕量元素，利用了三重四極桿技術的干擾去除能力，同時不會影響檢測性能。
